PT120-240 校准标定板已被替换为 PT120-144（视场最大为 170x140 mm）和 PT192-240（视场最大为 260 x 200 mm)。
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技术信息
任何机器视觉镜头（无论是否为远心镜头）都存在一定程度的畸
变。除桶形或枕形畸变外，视角改变或部件偏离都会影响图像的对
称性，并造成所谓的薄棱镜畸变或梯形畸变。
在成像和计量应用中往往需要尽可能减小畸变，这可以通过对几何特
征已知的精确图案进行图像分析来使用软件修正畸变。
因此，OptoEngineering®为大多数OptoEngineering®远心镜头提供了针对软件校准进行优化的全系列模式。
棋盘通过两种不同的流程实现，以便根据需求提供最佳解决方案：
- 镀铬玻璃，适用于前沿应用;
- 乳液膜，性能与成本效益完美结合.
此外，还提供经认证的版本：用于校准的标准和设备已按照ISO/IEC 17025-2005和ANSI/NCSL Z540-1-1994中规定的程序进行校准，可追溯至国家标准技术研究所（N.I.S.T.).
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注释
- Film-on-glass photomask 的分类公式与普通 chrome-on-glass 不同，规格见下页表格。
- 下载 CoC 格式模式传真
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可以通过以下方法计算图案特征的尺寸公差：
`Maßtoleranz = ± (A + B * C)`
长度超过10mm的2级图案尺寸公差示例
Dimensional Tolerance = ± 0.0016mm + (±0.000008mm x 10 mm) = ± 0.00168 mm
| For Chrome-on-glass Photomask | |||
|---|---|---|---|
| Class | Min feature dimensions; Min spacing(µm) | Positioning error (µm) | Speed factor (µm/mm) |
| 1 | 1.4 | 6.4 | 0.016 |
| 2 | 0.8 | 1.6 | 0.008 |
| 3 | 0.4 | 0.6 | 0.004 |
| 4 | 0.2 | 0.2 | 0.001 |
| For Film-on-glass Photomask | |||
|---|---|---|---|
| Grade | Min feature dimensions; Min spacing(µm) | Positioning error (µm) | Speed factor (µm/mm) |
| 1 | 9.6 | 9.6 | 0.015 |
| 2 | 4.8 | 9.6 | 0.015 |
| 3 | 2.4 | 9.6 | 0.015 |
| 4 | 1.2 | 9.6 | 0.015 |